
最近,湖北九峰山實驗室傳(chuán)來一個令人振奮的消息:他們成功研發出瞭(le)全球首片8寸矽光薄膜铌酸锂光電集成晶圓!這個成果非常瞭(le)不起,被認爲是目前全球矽基化合物光電集成最先進的技術。
那麽這個8寸矽光薄膜铌酸锂光電集成晶圓有什麽特别之處(chù)呢?簡單來說,它能夠實現超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規模制造,是目前全球綜合性能最優的光電集成芯片。這意味著(zhe)我們的光通訊、量子通信等領域将迎來巨大的技術飛躍。
铌酸锂材料是一種非常出色的材料,它在濾波器、光通訊、量子通信、航空航天等領域都發揮著(zhe)重要作用。但是,铌酸锂材料有一個缺點,就是脆性大,制備(bèi)大尺寸铌酸锂晶圓非常困難。一直以來,業界對薄膜铌酸锂的研發主要集中在3寸、4寸、6寸晶圓的制備(bèi)及片上微納加工工藝上。
然而,九峰山實驗室的工藝中心卻成功破解瞭(le)這個難題。他們採(cǎi)用瞭(le)一種創新的方法,将8寸SOI矽光晶圓與8寸铌酸锂晶圓鍵合在一起,實現瞭(le)單片集成光電收發功能。這一突破性的技術不僅解決瞭(le)大尺寸铌酸锂晶圓制備工藝的難題,還爲光子集成芯片領域提供瞭(le)綜合性能最優的解決方案。
近年來,由於(yú)5G通信、大數據、人工智能等行業的快速發展,光子集成技術受到瞭(le)越來越多的關注。铌酸锂材料以其獨特的物理性能和機械穩定性被認爲是理想的光子集成材料。而單晶薄膜铌酸锂的出現,爲解決光子集成芯片領域長期存在的低傳輸損耗、高密度集成以及低調制功耗需求提供瞭(le)有力的支持。

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